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Chinese Journal of Vacuum Science and Technology (真空科学与技术学报)
ISSN: 1672-7126
CN: 11-5177/TB
Organizer: 中国真空学会
Administrator: 中国科学技术协会
Publisher: 《真空科学与技术学报》编辑委员会
Chief Editor: 吴锦雷
Description: 本刊主要刊登真空技术、表面与界面物理与化学、表面分析、电子材料、薄膜物理与工艺、真空冶金、等离子体科学与工艺等。主要栏目有:学术论文、综述评论、技术交流、工业技术、科研动态与学术活动、快报等。