Microengine and Microrocket Based on UV-LIGA Processes
Author(s): Jin Peng, Tan Jiubin
Pages: 1233-1234,1242
Year: 2005 Issue: 14
Journal: CHINA MECHANICAL ENGINEERING
Keyword: UV-LIGA; 陶瓷微加工技术; 微型火箭; 微型动力系统; 高温特性;
Abstract: 采用基于UV-LIGA技术的微型陶瓷结构微加工技术进行微型火箭和微型动力系统中高温零件的加工,获得了微型火箭与微型动力系统中的耐高温关键部件.新工艺成功实现了深宽比大于13的微型氧化铝陶瓷结构的加工.
Pages: 1233-1234,1242
Year: 2005 Issue: 14
Journal: CHINA MECHANICAL ENGINEERING
Keyword: UV-LIGA; 陶瓷微加工技术; 微型火箭; 微型动力系统; 高温特性;
Abstract: 采用基于UV-LIGA技术的微型陶瓷结构微加工技术进行微型火箭和微型动力系统中高温零件的加工,获得了微型火箭与微型动力系统中的耐高温关键部件.新工艺成功实现了深宽比大于13的微型氧化铝陶瓷结构的加工.
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