Author(s): YANG Chang-hong, WANG Zhuo, YI Xiu-jie, JIANG Fu-yi, ZHAI Jian-pang, MA Guang-peng, HAN Jian-ru
Pages: 671-673
Year: 2005 Issue:  6
Journal: PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
Keyword:  金属有机溶液分解法; BNaT; 铁电薄膜;
Abstract: 采用金属有机溶液分解法(MOSD)在SiO2/p-Si(111)衬底上制备了Bi3.25Na2.25Ti3O12(BNaT)薄膜.利用X-射线衍射技术研究了薄膜的结构和结晶性,同时还研究了不同退火温度对漏电流、积累态电容、损耗因子的影响及薄膜的I-V、C-V和ε-f性能.