Pages: 57-59
Year: 2004 Issue:  z2
Journal: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
Keyword:  拉曼谱; 镀膜玻璃; 散射;
Abstract: 为解决"光污染"问题,我们采用化学气相沉积的方法及后退火工艺,制备了低镜面反射纳米硅镀膜玻璃.用拉曼谱对样品的微结构进行表征,并测量了薄膜的反射率.结果表明,退火样品由于表面氧化形成低折射率的氧化物,以及大晶粒增强了对可见光的散射,因而具有低的反射率.