Relativity of plasma parameters and process parameters in ion surface alloying
Author(s): LI Chengming, XU Zhong, TIAN Linhai, LV Fanxiu, TANG Weizhong
Pages: 311-314
Year: 2003 Issue: 2
Journal: THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
Keyword: 等离子体参数; 工艺参数; 表面成分;
Abstract: 用朗缪尔单探针技术对离子渗金属中的等离子体参数进行了诊断,讨论工艺参数对等离子体参数的影响.结果表明,随着工件阴极电压、源极电压和气压的增加,等离子体密度增大.利用等离子体参数结合放电特征对工艺参数进行了优化限定.讨论了等离子体参数对渗层成分的影响.
Pages: 311-314
Year: 2003 Issue: 2
Journal: THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
Keyword: 等离子体参数; 工艺参数; 表面成分;
Abstract: 用朗缪尔单探针技术对离子渗金属中的等离子体参数进行了诊断,讨论工艺参数对等离子体参数的影响.结果表明,随着工件阴极电压、源极电压和气压的增加,等离子体密度增大.利用等离子体参数结合放电特征对工艺参数进行了优化限定.讨论了等离子体参数对渗层成分的影响.
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