Author(s): LI Zuoting
Pages: 11-13
Year: 1984 Issue:  2
Journal: Optical Technique
Keyword:  感光树脂; 光刻技术; 有机溶剂; 聚乙烯醇; 探测器; 光刻工艺; 显影液; 硫化铅; 半导体器件; 重要手段;
Abstract: <正> 一、引言光刻是一种精密的表面加工技术,是由照相和化学腐蚀相结合,在集成电路和半导体器件表面修刻的关键工艺。随着电子抗蚀胶的发展,为PbS器件的光敏面成形和电极成形提供了一个精密加工的重要手段。二、感光树脂光刻原理PbS光刻技术中所采用的感光胶称为光致