Author(s): ZHANG Shirong, WEN Bin, CUI Guanghao
Pages: 56-58,62
Year: 2001 Issue:  4
Journal: JOURNAL OF NATURAL SCIENCE OF HEILONGJIANG UNIVERSITY
Keyword:  硅-蓝宝石材料; 双膜片结构; 真空高温烧结; 压力传感器; 高温;
Abstract: 介绍了用硅-蓝宝石材料制作的通过采用双膜片结构及真空高温烧结工艺制成的高温压力传感器,并利用电路温度补偿来提高传感器高温压力的测量精度.350℃下测得传感器的准确度为0.1%.