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kai tuo chao gao zhen kong de shi jie ( san ) zhi cheng gao ji shu de ji chu
Author(s): 
Pages: 52-63
Year: Issue:  1
Journal: Vacuum and Cryogenics

Keyword:  等离子体离子镀膜真空蒸镀溅射镀膜超高真空空心阴极放电溅射速率金属离子辉光放电离子轰击;
Abstract: <正> 什么是离子镀膜?世界上创新的发明,大致都是这样开始的:用略有疑问的眼光去看待那些作为常识的毫无疑问的现象。离子镀膜的情况就是如此。位于沙漠地区的美国新墨西哥卅的阿鲁巴夸克建有一个圣地亚研究所。1964年,该研究所的马托克斯工程师想到这样一个问题:迄今为止的真空蒸镀都是在低于10-3帕的真空条件下进行的,若在压力高于10-1帕的等离子体中试一试,其结果将会如何呢?等离子体就是气体分子、电子和离子的混合态。第二章中,朗谬尔就是这样定义的。他
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