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li zi shu zhu ru de meng te ka luo mo ni fen xi
Author(s): 
Pages: 189-194
Year: Issue:  3
Journal: Vacuum Science and Technology

Keyword:  蒙特卡洛法离子注入模拟计算束半径离子束注入多原子高斯型分布计算结果能量淀积分布靶材料;
Abstract: 基于LSS理论,本文用蒙特卡洛法模拟计算了不同能量的硼、磷离子注入非晶硅靶及多层靶中的射程和能量淀积分布。对于多层、多原子靶,利用概率分布和比例函数使它转换成普通靶材料的计算。计算结果与LSS理论及IBM公司J. P. Biersack等人1985年的计算结果基本相符。对于高斯型分布的微细离子柬注入,对其径向坐标的随机抽样作了模拟分析,结果表明横向分布与束半径密切相关,并且横向能量淀积的峰值位置就在束半径附近。
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