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bao mo xing cheng de yi zhong xin li lun
Author(s): 
Pages: 363-370
Year: Issue:  5
Journal: Vacuum Science and Technology

Keyword:  原子团外来原子新理论薄膜形成物理条件统计热力学理论自由能聚集体成核生长键合能;
Abstract: 目前的理论还不能解释较多的薄膜形成的各种现象。在前文“原子团、超微粒子及其功能薄膜”的基础上,针对单个粒子的毛细作用理论加以推广,提出在单位基底表面上沉积外来原子所形成的成核和生长的统计热力学理论。它能较好地讨论成核生长和外延生长的物理条件,推导出有关公式;讨论的结论与文献积累的实验结果定性相符,能使有关现象得到解释。但薄膜的形成问题极其复杂,有关材料和工艺问题都有待深入研究。
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