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pfc 1 xing ya li liu liang zi dong kong zhi yi
Author(s): 
Pages: 45-46+52
Year: Issue:  1
Journal: Vacuum and Cryogenics

Keyword:  压力测量流量侧量自动测量仪器;
Abstract: 真空检测仪表在真空系统中占有重要位置,特别是对真空的压力和充气流量的自动控制要求也越来越高.目前还在研制中的压力流量自动控制仪是一台多功能仪器,它是真空镀模设备必备的仪器.介绍了该仪器的研制情况,给出了压力流量自动控制仪的技术参数,并对其工作原理,组成部分和工作过程做了详细地说明,压力流量自动控制仪,在控制压力的过程能测定流量,在控制流量的过程能检测压力.在要求较高的溅射或制备超导等材料中必须了解流量的大小.以达到预期的效果.压力流量自动控制可以解决此问题.
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