The server is under maintenance between 08:00 to 12:00 (GMT+08:00), and please visit later.
We apologize for any inconvenience caused
Login  | Sign Up  |  Oriprobe Inc. Feed
China/Asia On Demand
Journal Articles
Laws/Policies/Regulations
Companies/Products
Bookmark and Share
di er zhang ge zhong jian lou fang fa
Pages: 5-22
Year: Issue:  S1
Journal: Vacuum and Cryogenics

Keyword:  氦质谱检漏仪灵敏度检漏方法标准漏孔质谱室放射性同位素真空容器漏率碳氟化合物电真空器件;
Abstract: <正> 一、碳氟化合物检漏法本讲义第一册曾经讲过,对全密封的电真空器件、微电子器件、半导体管以及空心球等的检漏,通常采用氦质谱检漏仪背压检漏法或放射性同位素背压检漏法作为精检手段;然而它们只能在一定的漏率范围内才是有效的,并且都受到了最小可检漏率与最大可检漏率范围的限制。即使成功地进行了上述两种方法的任一种方法,对最大可检漏率范围之外的大漏还
Related Articles
No related articles found