Author(s): LI Zhi, ZHAO Yang, LI Dacheng
Pages: 206-208
Year: 2001 Issue:  3
Journal: OPTICAL TECHNIQUE
Keyword:  微位移测量; 笔束激光干涉仪; 光学傅立叶变换;
Abstract: 介绍了一种基于空间干涉原理的亚微米零差干涉位移测量方法.该方法是对笔束激光干涉仪在微位移测量领域的应用,干涉仪的测量精度不受光束波前畸变等光源噪声的影响.给出了干涉仪主要结构参数的选取原则;构建了用于微位移测量的笔束激光干涉仪实验系统.实验结果表明,该系统具有纳米测量分辨率.