Author(s): YAO Ruiming
Pages: 48-51
Year: 1991 Issue:  4
Journal: Jiangsu Metallurgy
Keyword:  损伤层; 抛光膜; 抛光片; 铌酸锂; 工艺研究; 加工工艺; 晶片; 研磨; 声表面波滤波器; 磨削量;
Abstract: <正> 前言铌酸锂单晶作为一种铁电材料,在声表面波技术上的应用近年来有了很大的发展,用它制作的声表面波滤波器大大改善了彩电、录像机和高传真音响设备的可靠性和稳定性。由于铌酸锂脆性大、传热系数小,硬度又不很高。因而造成了加工工艺上的很大困难,不易得到优质的抛光片。本工艺研究着重探讨了铌酸锂晶片的切割、研磨、