Author(s): FATIKOW Sergej, EICHHORN Volkmar, DIEDERICHS Claas
Pages: 919-926
Year: 2013 Issue:  4
Journal: Optics and Precision Engineering
Keyword:  nanohandling; nanorobotics; automation; carbon nanotubes; AFM;
Abstract: 在纳米技术和纳米材料领域,纳米操纵机器人已经成为一种用于分析和制作原型纳米器件的使能技术.这类纳米操纵机器人拾放操作灵活,可将单个纳米器件集成到现有的微器件中来提高微器件的总体性能和灵敏度.如今这种被称作微纳米集成装配的自动化装置不再局限于实验室使用,还需要应用于工业领域.本文综述了纳米微操作机器人的产生、集成装配和自动化等方面的基础技术,同时探讨了不同种类原子力显微镜超级探针的装配方案.