Author(s): SUN Hai-yong, YAO Shuan-ke, XU Zhao-xiang
Pages: 58-59
Year: 2011 Issue:  6
Journal: Vacuum Electronics
Abstract: 一次封排炉是目前生产真空灭弧室的关键设备.在工作过程中,设备的炉膛壳体部分和扩散泵均需要冷却.本文以实例介绍了双冷却系统的设计及其在一次封排炉中的应用情况.