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Novel Method for Gas Flow Rate Measurement in Vacuum
Author(s): 
Pages: 123-127
Year: Issue:  2
Journal: Vacuum Science and Technology

Keyword:  真空 流量测量 调节阀 动态平衡 多元非线性回归;
Abstract: 当空气绝对压力小于40 kPa时,目前尚无简便有效的气流质量流量测量手段,为此本文设计了一套新颖的流量标定装置,并提出一种了流量测量方法。在流量调节过程中,调节阀必不可少。真空状态下,流经调节阀的流量几乎完全由阀前、后压力、气流温度四个变量决定。本文由流量标定装置获取有效的数据样本,基于多元非线性回归方法建立了流量与四者的关系表达式。一定范围内只要测定四个变量,则能直接计算出相应流量。实验结果表明计算值与实测流量偏差小于3.0%。
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