Author(s): Wang Yan, Zhang Shu-Yi, Zhou Feng-Mei, Yang Yue-Tao
Pages: 218-226
Year: 2011 Issue:  2
Journal: Journal of Nanjing University(Natural Sciences)
Keyword:  nano-structural ZnO film; RF magnetron sputtering; hydrothermal synthesis; photoluminescence spectrum;
Abstract: 用一种混合方法用来制备ZnO纳米结构薄膜,首先利用射频磁控溅射法在玻璃衬底上沉积ZnO薄膜作为种子层,然后用水热方法合成ZnO纳米结构薄膜.为研究ZnO纳米结构薄膜的特性,利用X--射线衍射(XRD)及扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的结构和形貌进行分析,并用X--光电子能谱技术(XPS)对薄膜的化学组份进行分析,最后利用光致发光方法(PL)对ZnO薄膜的发光性能进行了研究.从XRD谱图中可以看出,...