Author(s): Song Yongxiang Huang Jianbing Yu Zhenkun Qi Hongji
Pages: 226-229
Year: 2011 Issue:  11
Journal: Chinese Journal of Lasers
Keyword:  薄膜;  钬激光器;  高反膜;  优化;
Abstract: 采用红外石英作为基底材料,利用SiO2/ZrO2膜系制备2100nm波段钬激光器0°高反膜。提出一套完整的优化工艺,解决了薄膜的材料(膜料和基底)本身的水吸收,克服了薄膜表面光洁底差、散射吸收损耗大、容易破裂等问题,镀制出的薄膜在激光使用波长透射率小于0.1%,粗糙度小于1nm,并且具有长期稳定性好,可靠性高等特点。