Author(s): Zhao Bo, Qi Hongxia, Meng Yuehong
Pages: 403-410
Year: 2011 Issue:  6
Journal: Micronanoelectronic Technology
Abstract: 首先,介绍了碳纳米管电子器件应用中的关键工艺技术--碳纳米管与外电路的连接技术,回顾了碳纳米管与外电路装配的发展历程.从碳纳米管在电极间的随机连接到电场定位组装和原子力显微镜的可控操纵,描述了各种装配方法的特点.其次,讨论了碳纳米管与外电路连接的可靠性问题,并介绍了电子束、扫描探针显微镜和超声波等多种改善接触性能的焊接方法.最后,简单展望了碳纳米管与外电路连接的发展趋势,指出数目可控的碳纳米管组装...