Author(s): CHENG Zhongyuan, WANG Min(mechanicalengineeringinstitute, NANJING Universityofaeronauticsandastronautics, nanjing, 210016)
Pages: 44-51
Year: 1999 Issue:  2
Journal: Vacuum Science and Technology
Keyword:  真空电弧;  沉积;  弧源;
Abstract: 讨论了真空电弧沉积中弧源设计的有关问题 ,如电弧运行模式、电弧极性、点火方式、电弧的约束方式以及宏观粒子抑制方式等。分析表明 ,合理选择电弧运行模式和电弧极性 ,以满足涂料粒子蒸发与离化的要求 ;选择合适的弧源结构 ,加强对电弧的约束与烧蚀的控制 ,或用过滤弧源 ,以抑制宏观粒子对涂层的污染 ,是成功设计弧源的关键