Author(s): YIN Lixin, JIANG Dikui, JIN Yuming(nationalsynchrotronradiationlaboratory, UNIVERSITY Ofscienceandtechnologyofchina, hefei, 230029) Akihiroyamamoto, HAJIME Ishimaru(nationallatoratoryforhighenergyphysics(kek), tsukuba, ibaraki, japan)
Pages: 26-31
Year: 1999 Issue:  2
Journal: Vacuum Science and Technology
Keyword:  真空室材料;  气体解吸;  电子激发;
Abstract: 用电子激发方法对SSRF储存环初步选定的真空室材料的动态出气特性进行了实验研究 ,得到了主要解吸气体成分的电子激发解吸系数与电子入射累积剂量的关系 ,对真空室材料经不同表面处理后的电子激发解吸特性进行了比较 ,初步确定了该真空室的表面处理工艺 ,为SSRF储存环超高真空系统的建立提供了一定的实验依据