The Preparation of ZnO Film by Two Step Chemical Deposition Method and Its Field Emission Properties
Author(s): MA Yu-kun, YAO Ning, GAO Zhi-feng, WANG Ai-hua, QIN Yu-hua, ZHANG Bing-lin
Pages: 368-372
Year: 2009 Issue: 3
Journal: Chinese Journal of Luminescence
Keyword: ZnO薄膜; 两步化学法; 场发射;
Abstract: 在低温常压条件下,以ITO玻璃为衬底,采用电化学法与湿化学法结合的两步化学沉积法制备了团簇状ZnO薄膜.利用XRD,SEM分析了薄膜结构和表面形貌,并采用二极管结构在高真空条件下对薄膜进行了场发射性能测试.稳定发射后,开启电场为3.0 V/μm.当电场为5.8 V/μm时,电流密度为583.3 μA/cm2.研究表明:两步化学沉积法低温制备ZnO薄膜是可行的,且该薄膜具有良好的场发射性能.
Pages: 368-372
Year: 2009 Issue: 3
Journal: Chinese Journal of Luminescence
Keyword: ZnO薄膜; 两步化学法; 场发射;
Abstract: 在低温常压条件下,以ITO玻璃为衬底,采用电化学法与湿化学法结合的两步化学沉积法制备了团簇状ZnO薄膜.利用XRD,SEM分析了薄膜结构和表面形貌,并采用二极管结构在高真空条件下对薄膜进行了场发射性能测试.稳定发射后,开启电场为3.0 V/μm.当电场为5.8 V/μm时,电流密度为583.3 μA/cm2.研究表明:两步化学沉积法低温制备ZnO薄膜是可行的,且该薄膜具有良好的场发射性能.
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