Author(s): LIN Xie-zhao, YING Ji, CHEN Zi-chen
Pages: 839-844
Year: 2008 Issue:  5
Journal: OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
Keyword:  宏模型; 模态分析; 静电驱动; 微机电系统(MEMS);
Abstract: 器件宏模型技术是微机电(MEMS)系统设计和系统级仿真的关键技术.为了建立静电致动硅膜板的宏模型,在运用有限元进行模态分析的基础上,利用多变量非线性函数拟合方法,将由数值计算得到的静电器件系统的动能、弹性能和电容写成模态广义坐标表示的解析式,导出以模态坐标表达的器件系统动力学方程,即宏模型.利用该宏模型研究了器件的静态、动态特性,并与有限元计算结果进行比较.结果表明:用模态坐标表达的动态宏模型能够考虑残余应力、大变形、静电力等非线性因素的影响,大大地减少了计算费用,而且具有足够的仿真精度.