Author(s): WU Zhi-hua, ZHOU Xiao-hong, WEI Guo-jun, SHAO Jie, CHEN Lin-sen
Pages: 424-428
Year: 2008 Issue:  5
Journal: LASER & INFRARED
Keyword:  并行激光直写; 图像处理软件; 数字光变图像;
Abstract: 基于HoloMaker-Ⅳ激光干涉直写系统的数字微反射镜(digital micro-mirror device, DMD)并行输入光刻方式,提出了根据图形特性的智能边界处理,实现了超高分辨率图像的高效激光直写干涉光刻.通过DMD输入图形与系统干涉控制参数相互匹配处理的方式对256色位图进行了图形格式转换,从而支持2D/3D,3D光变图像以及各种微图形文字的处理.为高效率制作高品质光变图像提供了新方法.实验表明:在2400DPI分辨率下,该方法比传统逐点光刻法的运行效率提高90倍.给出了高质量的实验结果.