Development of Investigation of β-FeSi2 Thin Films
Author(s): ZHOU You-hua, TONG Heng-ming, QIAO Yan
Pages: 26-29
Year: 2007 Issue: 2
Journal: JOURNAL OF JIANGHAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
Keyword: β-FeSi2; 半导体薄膜; Si基发光;
Abstract: 综述了半导体β-FeSi2薄膜的制备、薄膜的表征、能带的特点、电学、光学性质等方面的研究进展,讨论了几种用于Si衬底上外延生长β-FeSi2薄膜方法的优缺点,分析了制备高品质β-FeSi2薄膜所存在的理论和技术上的难题,展望了β-FeSi2薄膜作为新光电材料的应用前景.
Pages: 26-29
Year: 2007 Issue: 2
Journal: JOURNAL OF JIANGHAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
Keyword: β-FeSi2; 半导体薄膜; Si基发光;
Abstract: 综述了半导体β-FeSi2薄膜的制备、薄膜的表征、能带的特点、电学、光学性质等方面的研究进展,讨论了几种用于Si衬底上外延生长β-FeSi2薄膜方法的优缺点,分析了制备高品质β-FeSi2薄膜所存在的理论和技术上的难题,展望了β-FeSi2薄膜作为新光电材料的应用前景.
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